四探针电阻率 / 方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、 ITO 导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。
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