程曜,1956年10月出生,浙江嵊州人,教授,博士生导师。1989年德国鲁尔波鸿大学物理系博士毕业。1989年至2001年在新竹同步辐射国家实验室任职,1999年至2002年在新竹清华大学任教,2002年起百人引进回祖国清华大学任教。现于工程物理系建立量子测控实验室。量子测控的意义在于寻求新的微观科学机制,研究并完善这种新的方法,达到极端精密的观测、制造和控制的目的。其和美国马里兰大学史砚华教授合作,研究量子纠缠态的光刻和辐射成像。主要的研究方向分激光紫外超深光刻术和极限穆斯堡尔效应。
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